ФОТОРЕЗИСТ (от фото... и англ. resist - сопротивляться, препятствовать ), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике и микроэлектронике (см., напр., Планарная технология) для получения на пластине "окон" заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Ф. через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Ф. резко уменьшается (негативный Ф.), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Ф.). Последующая обработка растворителем образует в Ф. "окна" на необлучённых участках негативного Ф. или облучённых участках позитивного Ф. Типичные Ф.: негативные - слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот или эфирами коричной кислоты, слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими "сшивание" макромолекул под действием света; позитивные - феноло- или крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.
Лит.: Фотолитография и оптика, М.-Берлин, 1974; Мазель Е. 3., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.
же, что и фотопроводимость.
Смотреть больше слов в «Большой советской энциклопедии»
(от Фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать) полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пл... смотреть
фоторезист сущ., кол-во синонимов: 2 • материал (306) • резист (5) Словарь синонимов ASIS.В.Н. Тришин.2013. . Синонимы: материал, резист
Термин фоторезист Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография, травление в литографии Определение свето- или ре... смотреть
1) Орфографическая запись слова: фоторезист2) Ударение в слове: фоторез`ист3) Деление слова на слоги (перенос слова): фоторезист4) Фонетическая транскр... смотреть
photoresist lacquer, photoemulsion, photoresist, photo resist, resist* * *фоторези́ст м.photoresist (material)жи́дкий фоторези́ст — liquid photoresist... смотреть
Ферт Трот Трос Триоз Трио Триест Треф Трест Тостер Тост Торф Торт Торс Торос Торит Тори Тор Тоо Тоз Тиф Титр Титор Тит Тис Тирс Тире Тир Тиофос Тизер Тефрит Тетр Тетис Тесто Тест Тес Терофит Теософ Теор Теист Тезис Сферит Стрит Стрет Стр Стер Срез Софт Софит Сотр Соте Сорт Сорит Сор Сиф Ситро Сито Сет Серо Рот Рост Рифт Риф Рис Рио Ризотто Реф Рет Резит Резист Рез Офсет Офортист Офорт Офит Офис Отто Отрез Отит Остро Острие Остит Фес Фетр Фирс Форо Форос Остер Остеофит Форс Ост Орт Форт Форте Фот Орс Итр Фри Изот Зот Зостер Зоофит Зет Фриз Зеро Зер Фтор Фоторезист Фото Озеро Орест Ортит Осетр Осот Остеит... смотреть
Ударение в слове: фоторез`истУдарение падает на букву: иБезударные гласные в слове: фоторез`ист
м.photoresist- вакуумный фоторезист- жидкий фоторезист- негативный фоторезист- плёночный фоторезист- позитивный фоторезист
Fotolack, Fotoresist, Kopierlack, Lack электрон., (светочувствительное вещество, обеспечивающее селективное травление) Photoresist, Resist
photoresist– задубленный фоторезист– засвеченный фоторезист– обратный фоторезист– прямой фоторезистСинонимы: материал, резист
м. fotoresist m
сущ. муж. родафоторезист -у
〔名词〕 光致抗蚀剂光敏抗蚀剂光阻材料Синонимы: материал, резист
фоторез'ист, -аСинонимы: материал, резист
фоторезистСинонимы: материал, резист
Начальная форма - Фоторезист, винительный падеж, единственное число, мужской род, неодушевленное
photorésist, résine photosensible
(напр. для опознавания детали) photoresist
фоторезист фоторез`ист, -а
photoresist, photosensitive resist
фоторезист, -у
• fotorezist
photoresist
photorésist
фоторезист
імен. чол. родуфоторезист